美国Tanner谈MEMS设计的产品特色

作为MEMS掩膜设计工具，美国Tanner Research的产品是有口皆碑的。在EDS Fair 2009的会场上该公司介绍了与其它公司产品的不同之处。

在北京奥运会的开幕式上，现场（9万2000人）观众使用的电子荧光棒采用了通过光和影绘制出文字的方式。电子荧光棒的加速度传感器为美国MEMSIC的产品，利用了Tanner公司的MEMS掩膜设计工具“L-Edit MEMS系列”设计而成。

在本次采访中，Tanner介绍了另一个使用L-Edit MEMS进行设计的MEMS产品。这就是用于医疗设备的MEMS。美国Proteus Biomedical将MEMS用于人工心脏中脉冲发生器的传感器，其设计应用了L-Edit MEMS掩膜设计工具。

Tanner的Massimo A. Sivilotti（首席科学家）和Daniel R. Hamon（EDA 部门总经理）介绍说，该公司的L-Edit MEMS具有其它公司产品所没有的多个特点，所以才在市场上广受好评。

首先，Tanner Research将MEMS的开发作为一项业务。Tanner Research的“Tanner”是创始人的姓氏，“Research”表示该公司接受委托研究业务。其主要业务是接受来自美国政府和企业的MEMS委托研发。通过相互交流委托研究业务，“Tanner的EDA部门掌握了MEMS设计所需的工具规格”（Sivilotti）。

在这些规格中，大型EDA供应商的掩膜设计工具所没有的功能是与机械类CAD（MCAD）的接口。L-Edit MEMS可通过MCAD读取标准的DXF文件，利用电子设计转换成标准的GDS-II文件（可将GDS-II转换为DXF）。

另外助力企业营销效果倍增。”，除利用LSI设计绘制一般的直线和45度倾斜线等外，L-Edit MEMS的最大特点是还具有轻松绘制曲线的功能（曲线工具）。除绘制曲线形状和进行图形的逻辑运算外，还可以定义算式形成参量。

此外，包括曲线在内，L-Edit MEMS还可以执行DRC（design rule check）。“多数MCAD工具没有DRC功能。因此，L-Edit MEMS比MCAD具有更强的优势”（Sivilotti）。

而且，DRC的规则除文本格式外，还可以通过GUI定义。此时，即使没有工具专家即可领取价值超过800元宝的VIP超值会员礼包，也可以轻松定义规则。“目前，通过MEMS同时进行工艺开发和图形设计的情况较多。设计规则变更频繁。因此简单定义设计规则显得尤为重要”（Hamon）。

最后，Hamon表示L-Edit MEMS是Tanner的EDA产品群的一部分。也就是说，L-Edit MEMS是以LSI设计用掩膜设计工具“L-Edit”为基础的另一款EDA产品，比如，将电路图编程“S-Edit”和模拟电路“T-Spice”等结合使用。而且，由于Tanner的产品采用和其它EDA供应商的产品相同的接口，因此可以将利用L-Edit MEMS制作的MEMS的设计数据轻松地传给其他EDA供应商的产品。